在微机电系统工程专业方面，以下是一些顶尖的大学：

清华大学

哈尔滨工业大学

上海交通大学

华中科技大学

北京理工大学

天津大学

大连理工大学

浙江大学

西安交通大学

北京航空航天大学

这些大学在微机电系统工程专业方面都有很高的声誉和实力，排名靠前。

建议：

清华大学 和 哈尔滨工业大学 在微机电系统工程专业方面具有非常高的声誉和实力，是首选。

上海交通大学 和 华中科技大学 也是该领域的佼佼者，具有很好的教学和科研条件。

北京理工大学 、 天津大学 、 大连理工大学 、 浙江大学 、 西安交通大学 和 北京航空航天大学 也都有很强的实力，可以根据个人兴趣和职业规划进行选择。