以下是一些提供MEMS（微机电系统）相关专业或研究方向的大学：

清华大学：清华大学精密仪器系在MEMS传感器、智能传感器等领域有深入研究，拥有多个国家级实验室和研究中心。

东南大学：东南大学电子科学与工程学院设有MEMS教育部重点实验室，专注于MEMS传感器的研究。

西安交通大学：西安交通大学机械工程学院在MEMS传感器、压力传感器、加速度传感器等领域有显著研究成果。

北京航空航天大学：北京航空航天大学在信息工程管理领域具有较强的师资力量，涉及MEMS相关技术。

哈尔滨工业大学：哈尔滨工业大学在MEMS与航天芯片方向有深入研究，正在筹备微电子学院。

上海交通大学：上海交通大学在光电子集成和先进制程工艺方面与MEMS技术有交叉研究。

浙江大学：浙江大学在硅材料和大尺寸硅片技术方面有突破，涉及MEMS相关领域。

北京邮电大学：北京邮电大学在射频与MEMS方向有突出表现，学科评估为A-。

这些大学在MEMS领域都有较强的科研实力和丰富的教学资源，适合对MEMS技术感兴趣的学生报考。