清华大学精密仪器系（精仪系）的硕士研究生录取情况如下：

超精密技术方向 ：

最终录取5人，最高分395分，最低分351分。

智能装备设计与制造方向 ：

最终录取4人，录取分数分别为428分、408分、393分，另有一个强军计划考生。

微系统工程方向 ：

最终录取5人，最高分407分，最低分359分。

从这些数据可以看出，精仪系考研的初试成绩要求相对较高，基本上过355分的初试线就有希望被录取。具体到各个方向，超精密技术方向的最高分可以达到395分，智能装备设计与制造方向的最高分是428分，微系统工程方向的最高分是407分。

建议考生根据自身情况和目标方向，认真准备，争取取得理想的成绩。